[시드니=뉴스핌] 권지언 특파원 = 중국이 네덜란드 반도체 장비 업체 ASML이 사실상 독점해온 핵심 반도체 제조 장비 시장에 도전장을 내밀었다.

27일(현지시각) 정보기술 매체 디인포메이션(The Information)은 중국이 자체 개발한 침지식 심자외선(DUV) 노광 장비 생산을 시작했으며, 올해 안에 주요 반도체 기업에 공급할 예정이라고 보도했다.

이번 장비는 중국 최대 파운드리 업체인 중신궈지(SMIC)와 화훙반도체, 메모리 업체 창신메모리테크놀로지(CXMT) 등에 전달될 것으로 알려졌다.

중국이 개발한 DUV 노광 장비 제조사는 민감한 사안이라는 이유로 공개되지 않았다.

이번 기술 진전은 향후 중국 시장에서 ASML의 지위에 도전할 가능성을 보여주는 것으로 평가된다. 다만 현재 중국산 장비는 성능과 안정성 측면에서 여전히 ASML 제품에 뒤처져 있으며, 양산 전 추가적인 검증 과정이 필요한 상황이다.

이에 따라 당분간은 ASML의 기술 경쟁력이 유지될 것이라는 분석이다.

중국의 초기 생산 규모도 제한적일 전망이다. 올해 생산되는 DUV 장비는 약 5대 수준으로 예상되며, 2027년에는 약 20대까지 확대될 것으로 보인다.

침지식 DUV 노광 장비는 실리콘 웨이퍼 위에 반도체 회로 패턴을 새기는 핵심 장비로, 미국의 수출 규제로 중국 반도체 업체들이 극자외선(EUV) 노광 장비를 확보하지 못하게 된 이후 중국이 활용할 수 있는 가장 첨단 수준의 노광 기술로 꼽힌다.

중국은 차세대 EUV 노광 장비 개발도 추진하고 있지만, 현재는 시제품 개발 단계에 머물러 있다.

이번 기술 확보는 미국이 중국 내 외국산 노광 장비 수출과 유지보수 서비스를 추가로 제한하는 방안을 검토하는 가운데, 중국 반도체 업체들이 핵심 제조 장비의 대체 공급망을 확보하는 데 도움이 될 것으로 전망된다.

중국의 국산 노광 장비 개발 소식에 ASML 주가는 이날 장중 7% 이상 하락한 뒤 5.8% 하락 마감했다. 이는 지난 6월 8일 이후 가장 큰 낙폭이다.

반도체 장비 공급망 관련 기업들도 동반 약세를 보였다.

BE 세미컨덕터 인더스트리스는 약 10% 떨어졌고, 소이텍과 인피니언 테크놀로지스도 각각 5%, 3% 안팎 하락했다.

kwonjiun@newspim.com