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KAIST, 3차원 반도체소자 구현할 나노 인쇄기술 개발

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개발된 기술로 3차원 고성능 신축 가스 센서 제작

[세종=뉴스핌] 이태성 기자 = 나노에서 미터 단위에 이르기까지 전자 소자에 적용되는 소재가 다양해지는 가운데 국내 연구팀이 3차원 구조체 제작 기술 개발에 성공했다.

한국과학기술원(KAIST)는 박인규 기계공학과 교수와 정준호 한국기계연구원(KIMM) 전략조정본부장 공동연구팀이 `차세대 3차원 나노구조체 인쇄 기술'을 개발했다고 4일 밝혔다.

공동연구팀은 신축 기판 위 2차원 나노구조체의 안정적 구현과 인쇄될 기판의 표면 마이크로 구조 설계를 통해 3차원 나노구조체를 인쇄할 수 있음을 처음으로 선보였다.

다양한 형상의 기판 위에 인쇄된 3차원 나노구조체 이미지. [자료=한국과학기술원(KAIST)] 2023.04.04 victory@newspim.com

현재까지 개발된 기계적 좌굴(buckling) 기반의 3차원 인쇄 기술은 2차원 구조체 전사 공정의 불안정성과 나노구조체 설계의 어려움으로 마이크로 단위보다 큰 3차원 구조체만 제작할 수 있다는 한계를 갖고 있다.

연구팀은 나노 스케일까지 안정적으로 2차원 구조체를 인쇄할 수 있는 나노전사 인쇄 기술과 신축 기판에 가해진 압축력에 의해 좌굴된 최종 형상을 예측할 수 있는 설계 기법을 개발해 차세대 3차원 나노구조체 인쇄 기술을 구현했다.

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개발된 3차원 나노구조체 인쇄 공정은 유독성·폭발성 가스 감지를 위한 고성능 신축 가스 센서를 제작하는데 응용됐다. 이는 나노 스케일의 무기물 물질을 제작하고 실제 응용 소자에 적용할 수 있음을 보인 것이라 의미가 크다.

왼쪽부터 박인규 KAIST 교수, 정준호 KIMM 본부장, 안준성 KAIST 박사후연구원. [사진=한국과학기술원(KAIST)] 2023.04.04 victory@newspim.com

연구를 지도한 박인규 KAIST 교수와 정준호 한국기계연구원 박사는 "개발된 차세대 3차원 나노구조체 인쇄 기술은 나노구조체 제작 공정의 본질적인 문제인 낮은 범용성 및 디자인 다양성과 대량 생산의 어려움을 해결할 수 있을 것으로 기대된다"며 "추후 반도체 소자를 포함한 다양한 나노 전자 소자 제작에 활용될 수 있을 것ˮ이라고 밝혔다.

한편 이번 연구는 안준선 KAIST 기계공학과 박사후연구원이 제1저자로 참여했으며 국제 학술지 `네이처 커뮤니케이션즈' 2023년 2월 온라인판에 출판됐다.

victory@newspim.com

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